Новая система нанопечатной фотолитографии в ультрафиолете от компании EV Group для производства фотоники, светодиодов и био-МЭМС
Компания EV Group (EVG) представила систему EVG®720 — автоматическую систему нанопечатной фотолитографии в ультрафиолете (UV nanoimprint lithography, UV-NIL). Система EVG®720 позволяет обрабатывать более 60 полупроводниковых пластин в час с минимальными затратами. Размеры напечатанных наноструктур могут доходить до 40 нм на всей площади пластины при… Продолжить чтение