Технология изготовления интегральных схем
Базовые технологические операции Производство интегральных схем состоит из ряда операций, выполняя которые постепенно из исходных материалов получают готовое изделие. Количество операций технологического процесса может достигать 200 и более, поэтому рассмотрим только базовые. Эпитаксия – это операция наращивания на подложке монокристаллического… Продолжить чтение