Электронные полупроводниковые устройства работают за счет полупроводникового канала, по которому течет электрический ток. Но когда ионизирующее излучение попадает на кристалл полупроводника, оно возбуждает в полупроводниковых каналах блуждающие токи, которые складываются или подавляют полезные сигналы, что приводит к порче кристалла в худшем случае и к искажению данных в лучшем случае. В качестве полупроводниковых материалов можно использовать материалы, стойкие к ионизирующему излучению, такие как свинец или оксид меди, но транзисторы из таких материалов обладают весьма низким быстродействием и в любом случае смогут нормально работать только ограниченное время.
Конечно, кремниевая электроника более быстра, более компактна и работает более четко, нежели одно MEMS-устройство. Но, каждое из таких устройств действует как целый логический узел, реализующий достаточно сложную логическую функцию, что делает скорость и надежность MEMS-схем сопоставимой с аналогичными показателями кремниевых схем.
Узкие промежутки между вольфрамовыми электродами имеют напряжение четкого срабатываний всего в 1.5 В, что примерно в десять раз ниже, чем порог срабатывания других MEMS-элементов. Единственный недостаток MEMS-элементов — их большие размеры, типовой элемент имеет размеры 25 на 25 микрон и половину микрона в толщину.
Следует отметить, что ученые уже провели первые испытания электронных схем на MEMS-элементах. Даже после весьма длительного нахождения подле активной зоны реактора ядерной станции, где присутствует высокий уровень радиации, MEMS-схемы работали совершенно нормально, не демонстрируя ни малейших признаков деградации. Следующим этапом развития этой технологии будет разработка простейшего MEMS-процессора и периферии программируемого компьютера, который сможет уже выполнять несложные арифметические и логические задачи в очень сложных условиях.