Метрологическая платформа рентгеновского контроля полупроводниковых пластин XM8000 от компании Nordson DAGE

Компания Nordson DAGE анонсирует представление платформы рентгеновского контроля полупроводниковых пластин XM8000 на европейском саммите SEMI European 3D TSV Summit, который проходит во Франции с 20 по 22 января 2014 года.

Система XM8000 позволяет выполнять автоматизированный поиск дефектов и проведение автоматизированных высокопроизводительных измерений визуально скрытых и видимых элементов TSV (through-silicon via, переходные отверстия в кремнии), микросхем с компоновкой 2,5D и 3D, МЭМС и столбиковых выводов полупроводниковых пластин. Система рентгеновского контроля XM8000 позволяет в условиях конвейерного производства проводить измерения уровня пустот и степени заполнения, наложения, определять критические размеры и многое другое.

nordson.com.