Новая система нанопечатной фотолитографии в ультрафиолете от компании EV Group для производства фотоники, светодиодов и био-МЭМС
admin
Компания EV Group (EVG) представила систему EVG®720 — автоматическую систему нанопечатной фотолитографии в ультрафиолете (UV nanoimprint lithography, UV-NIL).
Система EVG®720 позволяет обрабатывать более 60 полупроводниковых пластин в час с минимальными затратами. Размеры напечатанных наноструктур могут доходить до 40 нм на всей площади пластины при массовом производстве. Система EVG720 предназначена для производства оптических устройств, фотоники, светодиодов, микрофлюидных и других устройств сферы био-МЭМС, а также современных устройств хранения данных.
Система EVG720 позволяет работать с широким диапазоном фоторезистов. Возможность воспроизведения отпечатков позволяет сэкономить на приобретении отдельной специальной системы.
